DS/EN ISO 10692-1:2002 Газовые баллоны. Соединения клапанов газовых баллонов для использования в микроэлектронной промышленности. Часть 1. Выходные соединения.
Настоящий стандарт распространяется на выпускные соединения клапанов газовых баллонов для газов и газовых смесей и касается особых требований, когда при производстве микроэлектронных компонентов или аналогичных приложениях требуется высочайший уровень чистоты и отсутствия частиц.
DS/EN ISO 10692-1:2002 История
2002DS/EN ISO 10692-1:2002 Газовые баллоны. Соединения клапанов газовых баллонов для использования в микроэлектронной промышленности. Часть 1. Выходные соединения.