GB/T 28632-2012
Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 28632-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 28632-2012
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения поперечного разрешения электронного оже-спектрометра и рентгеновского фотоэлектронного спектрометра при трех условиях. Метод прямой кромки подходит для инструментов с ожидаемым поперечным разрешением более 1 мкм. Метод сетки подходит для приборов, у которых ожидается поперечное разрешение более 20 нм и менее 1 мкм. Правило Золотого острова применяется к приборам с ожидаемым поперечным разрешением менее 50 нм. В Приложении A, Приложении B и Приложении C приведены примеры полосовых диаграмм для измерения поперечного разрешения.
GB/T 28632-2012 Ссылочный документ
- GB/T 22461-2008 Химический анализ поверхности. Словарь.
GB/T 28632-2012 История
- 2012 GB/T 28632-2012 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения.
