BS EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления МЭМС-структур
2012BS EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления МЭМС-структур