GB/T 28277-2012
Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на резку и растяжение зоны микросклеивания. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 28277-2012

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2012

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 28277-2012

сфера применения

Этот стандарт определяет требования и методы испытаний для проверки прочности соединения крошечных участков соединения, используемых при обработке МЭМС на основе кремния. Настоящий стандарт распространяется на испытания на прочность на сдвиг, растяжение и сжатие крошечных участков соединения, изготовленных с помощью микроэлектронной технологии и связанных с ней технологий микропроизводства.

GB/T 28277-2012 Ссылочный документ

• GB/T 19022-2003  Системы управления измерениями. Требования к измерительным процессам и измерительному оборудованию
• GB/T 26111-2010 Технология микроэлектромеханических систем.Термины

GB/T 28277-2012 История

• 2012 GB/T 28277-2012 Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на резку и растяжение зоны микросклеивания.