GB/T 28275-2012
Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация процесса травления КОН (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 28275-2012

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2012

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 28275-2012

сфера применения

Этот стандарт определяет технологические требования, которые следует соблюдать при использовании процесса коррозии гидроксида калия для обработки устройств MEMS. Настоящий стандарт распространяется на процесс и управление коррозией гидроксида калия.

GB/T 28275-2012 Ссылочный документ

• GB 50073-2001 Код проектирования чистого помещения
• GB/T 1031-2009 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Метод профиля. Параметры шероховатости поверхности и их значения.
• GB/T 26111-2010 Технология микроэлектромеханических систем.Термины

GB/T 28275-2012 История

• 2012 GB/T 28275-2012 Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация процесса травления КОН