ASTM E1217-11 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах

Стандартный №: ASTM E1217-11
Дата публикации: 2011
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM E1217-11(2019)
Последняя версия: ASTM E1217-11(2019)

сфера применения: Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия широко используются для анализа поверхности материалов. В этой методике обобщаются методы определения площади образца, вносящей вклад в обнаруженный сигнал (а) для приборов, в которых сфокусированный электронный луч может сканировать область с размерами, превышающими размеры области образца, просматриваемой анализатором, и (б) используя образец с острым краем. Этот метод предназначен для определения наблюдаемой площади образца для выбранных условий работы анализатора энергии электронов. Наблюдаемая площадь образца зависит от того, задерживаются ли электроны перед энергетическим анализом, энергии пропускания анализатора или коэффициента замедления, если электроны задерживаются перед энергетическим анализом, размера выбранных щелей или апертур, а также значения энергии электронов, которую необходимо измерить. измерено. Наблюдаемая площадь образца зависит от этих выбранных условий работы, а также может зависеть от адекватности выравнивания образца относительно анализатора энергии электронов. Любые изменения наблюдаемой площади образца в зависимости от условий измерения, например, энергии электронов или энергии прохождения анализатора, возможно, необходимо знать, если материалы образца при регулярном использовании имеют поперечные неоднородности с размерами, сравнимыми с размерами просматриваемой области образца. по анализатору. Эта практика может дать полезную информацию о свойствах визуализации анализатора энергии электронов для конкретных условий эксплуатации. Эта информация может быть полезна при сравнении производительности анализатора со спецификациями производителя. Информация о форме и размере области, просматриваемой анализатором, также может быть использована для прогнозирования интенсивности сигнала в экспериментах РФЭС при вращении образца и для оценки оси вращения манипулятора образца. Примеры применения описанных в этой практике методов опубликованы (1-7). Существуют разные способы определения области анализа спектрометра. Технический отчет ISO содержит рекомендации по определению поперечного разрешения, области анализа и площади образца, просматриваемого анализатором в AES и XPS (8), а ISO 18516:2006 описывает три метода определения поперечного разрешения в AES и XPS. Баер и Энгельхард использовали четко определенные «точки»; материала на подложке для определения площади образца, вносящей вклад в измеренный сигнал «малой площади»; РФЭС-измерение (9). Эта площадь может в десять раз превышать площадь, рассчитанную просто по латеральному разрешению инструмента. Степень интенсивности в &#‘бахроме&#’ или &#‘хвост&#’ области также могут сильно зависеть от работы линзы и адекватности выравнивания образца. Шайтауэр описал альтернативный метод, в котором использовались платиновые отверстия разного диаметра для определения доли «длиннохвостых» частиц; Рентгеновские вклады за пределами каждой апертуры в измеренном фотоэлектронном сигнале Pt по сравнению с таковым на Pt-фольге (10). В тестовых измерениях на коммерческом приборе XPS со сфокусированным рентгеновским лучом и номинальным поперечным разрешением 10 мкм (определяемым по расстоянию между положениями для 20% и 80% максимального сигнала при сканировании сделанный поперек кромки), было обнаружено, что диаметры отверстий около 100 мкм и 450 мкм были восстановлены......

ASTM E1217-11 Ссылочный документ

ASTM E1016 Стандартное руководство по литературе, описывающей свойства электростатических электронных спектрометров
ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности

ASTM E1217-11 История

2019 ASTM E1217-11(2019) Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах
2011 ASTM E1217-11 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах
2005 ASTM E1217-05 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах
2000 ASTM E1217-00 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах