JIS K 0169:2012
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов (ВИМС). Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием нескольких эталонных материалов с дельта-слоями.

Стандартный №

JIS K 0169:2012

Дата публикации

2012

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS K 0169:2012

JIS K 0169:2012 История

• 2012 JIS K 0169:2012 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов (ВИМС). Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием нескольких эталонных материалов с дельта-слоями.