DIN EN 62047-9:2012 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение прочности соединения между пластинами для МЭМС (IEC 62047-9:2011); Немецкая версия EN 62047-9:2011.
2012DIN EN 62047-9:2012-03 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение прочности соединения между пластинами для МЭМС (IEC 62047-9:2011); Немецкая версия EN 62047-9:2011.
2012DIN EN 62047-9:2012 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение прочности соединения между пластинами для МЭМС (IEC 62047-9:2011); Немецкая версия EN 62047-9:2011.