DIN EN 62047-5:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. Радиочастотные МЭМС-переключатели (IEC 62047-5:2011); Немецкая версия EN 62047-5:2011
2012DIN EN 62047-5:2012-03 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. Радиочастотные МЭМС-переключатели (IEC 62047-5:2011); Немецкая версия EN 62047-5:2011
2012DIN EN 62047-5:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. Радиочастотные МЭМС-переключатели (IEC 62047-5:2011); Немецкая версия EN 62047-5:2011