Настоящий международный стандарт определяет методы калибровки увеличения изображений сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) с использованием соответствующих эталонных веществ. Этот стандарт ограничивается калибровкой увеличений из-за диапазона размеров шага эталонного материала. Настоящий стандарт не распространяется на длинномерные сканирующие электронные микроскопы специального назначения.
GB/T 27788-2011 Ссылочный документ
GB/T 6379.1-2004 Точность (правдивость и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1: Общие принципы и определения.
ISO Guide 34:1996 Руководство по системе качества для производства стандартных образцов
ISO Guide 35:1989 Сертификация стандартных образцов. Общие и статистические принципы
ISO/IEC 17025:1999 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
JIS Q 0030:1997 Термины и определения, используемые в отношении справочных материалов
GB/T 27788-2011 История
2020GB/T 27788-2020 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.
2011GB/T 27788-2011 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.