BS EN 62047-12:2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур

Стандартный №

BS EN 62047-12:2011

Дата публикации

2011

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 62047-12:2011

BS EN 62047-12:2011 История

• 2011 BS EN 62047-12:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур