Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля и требования к маркировке, упаковке, транспортировке и хранению оборудования для вакуумного нанесения покрытий. Настоящий стандарт распространяется на оборудование для вакуумного испарения, напыления и ионного нанесения покрытия (далее - оборудование) с давлением в диапазоне от 10-5 Па до 10-3 Па.
GB/T 11164-2011 Ссылочный документ
GB 18209.1-2010 Электробезопасность машин. Индикация, маркировка и срабатывание. Часть 1. Требования к визуальным, акустическим и тактильным сигналам.