VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
Оптические измерения и микротопография. Калибровка интерференционных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.
- Стандартный №
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- Дата публикации
- 2008
- Разместил
- Association of German Mechanical Engineers
- Последняя версия
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
- сфера применения
- Настоящая директива VDI/VDE 2655 часть 1.1 применяется к интерференционным микроскопам, используемым для измерения топографии промышленных поверхностей. Описанные процедуры калибровки сопоставимы с методами, которые уже зарекомендовали себя в руководствах по отслеживанию контактных щуповых инструментов (см. рисунок 1) (DKD-R 4-2; EAL-G20). Соответственно, там, где это возможно, также использовались рассмотренные там стандарты (оптическая плоскость, оптическая решетка, эталон измерения глубины, эталон измерения шероховатости). Настоящая часть серии рекомендаций ограничивается базовой калибровкой интерференционного микроскопа. Это включает в себя прослеживаемость до единицы длины посредством измерения с помощью отслеживаемых эталонов измерения глубины. Это соответствует правой вертикальной траектории на рисунке 1. Из этих процедур измерения получают вывод для расчета неопределенности измерения при калибровке прибора и вывод для измерения на эталонах измерения глубины. Соответствующие процедуры определения параметров шероховатости поверхности будут описаны в разделе 2.1. Применение настоящего руководства преследует следующие цели: Улучшение сопоставимости измерений поверхности с использованием различных микроскопов, а также между микроскопами и контактными щуповыми инструментами со стандартами (документами) и стандартами для контактных щуповых инструментов. Определение условий прослеживаемости до единицы длины, как показано на рисунке 1. Определение пригодности к калибровке и определение области действия калибровки. Определение минимальных требований к процессу калибровки и условиям приемки. Предоставление модели, соответствующей GUM, для расчета неопределенности измерения метода измерения с использованием интерференции. микроскоп. Определение требований к протоколу результатов.
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 История
- 2008 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 Оптические измерения и микротопография. Калибровка интерференционных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.
- 2005 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2005 Оптические измерения и микротопография. Калибровка интерференционных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.
