VDI 2083 Blatt 13.2-2009
Технологии чистых помещений. Качество, производство и распределение сверхчистой воды. Микроэлектроника и другие технические применения.

Стандартный №

VDI 2083 Blatt 13.2-2009

Дата публикации

2009

Разместил

Association of German Mechanical Engineers

Последняя версия

VDI 2083 Blatt 13.2-2009

заменять

VDI 2083 Blatt 13.2-2008

сфера применения

Целью данного руководства является обобщение знаний, касающихся планирования, строительства, эксплуатации и мониторинга водоочистных сооружений для производства и распределения сверхчистой воды. Настоящее руководство применяется к требованиям к качеству, производству и поставке сверхчистой воды для процессов с требованиями высокой чистоты, используемых в технологии чистых помещений. Подобные процессы и системы используются в технологии электростанций и атомных электростанций, но они не являются предметом настоящего руководства, поскольку описаны в других источниках. Сверхчистая вода используется в различных приложениях, с одной стороны, для процессов очистки, а с другой стороны, для разбавления концентрированных сверхчистых химикатов до концентраций пригодных для использования растворов, или она попадает в продукт, подлежащий производству. Так, например. B. Загрязненные поверхности очищаются сверхчистой водой перед выполнением чувствительных рабочих процессов. К сверхчистой воде, используемой для этой цели, предъявляются высокие требования в отношении чистоты частиц, химической и биологической чистоты во время использования. В области технических приложений, в частности микроэлектроники/полупроводниковой технологии, основное внимание уделяется максимально возможному удалению всех твердых частиц, химических и биологических загрязнений за счет миниатюризации структур. Используемые системы сверхчистой воды имеют следующую структуру: Очистка, включая предварительную обработку. Хранение и распределение. Использование, включая мониторинг качества. Технологические этапы, необходимые для очистки сверхчистой воды, и, следовательно, структура системы определяются на основе существующего анализа сырой воды и исходя из местных условий, целевая сверхчистая вода. анализа, указанного в конкретной заявке. Рамочные экологические технические условия, напр. B. Требования к сокращению использования химикатов, а также затраты на воду и другие эксплуатационные расходы на конкретной площадке также влияют на выбор отдельных этапов процесса. Хранение и распределение определяются местными условиями установки и подключаемыми единицами использования. В общем, экономичное решение должно быть разработано из множества возможных решений.*www.vdi.de/2083

VDI 2083 Blatt 13.2-2009 Ссылочный документ

• DIN 10192-1:1984 
• DIN 11850:1999 Трубы для пищевой, химической и фармацевтической промышленности. Трубы из нержавеющей стали. Размеры, материалы.
• DIN 11864-1:2006 Фитинги из нержавеющей стали для асептической, химической и фармацевтической промышленности. Часть 1. Асептическое резьбовое соединение труб стандартного типа.
• DIN 1301-1:2002 Единицы измерения. Часть 1. Названия юнитов, символы юнитов.
• DIN 1314:1977  Давление; Основные определения, единицы измерения
• DIN 19645:2006  Очистка отработанной фильтрационной воды обратной промывки систем очистки воды бассейнов и бань.
• DIN 32676:2001 Фитинги для пищевой, химической и фармацевтической промышленности. Хомутовые соединения для труб из нержавеющей стали. Приварные.
• DIN 32736:2000 Управление зданием - Определения и объем услуг
• DIN 38404-10:1995 Немецкие стандартные методы исследования воды, сточных вод и осадка. Физические и физико-химические параметры (группа C). Часть 10. Насыщение воды кальцитом (C 10).
• DIN 38404-3:2005  Стандартные немецкие методы исследования воды, сточных вод и осадка. Физические и физико-химические параметры (группа C). Часть 3. Определение спектрального поглощения в УФ-диапазоне, коэффициент спектрального поглощения (C 3)
• DIN 38409-6:1986 Стандартные немецкие методы исследования воды, сточных вод и осадка; сводные индексы действия и веществ (группа Н); жесткость воды (H 6)
• DIN 38409-7:2005 Немецкие стандартные методы исследования воды, сточных вод и осадка. Параметры, характеризующие воздействие и вещества (группа H). Часть 7. Определение кислотной и щелочной нейтрализующей способности (H 7).

VDI 2083 Blatt 13.2-2009 История

• 2009 VDI 2083 Blatt 13.2-2009 Технологии чистых помещений. Качество, производство и распределение сверхчистой воды. Микроэлектроника и другие технические применения.
• 2008 VDI 2083 Blatt 13.2-2008 Технологии чистых помещений - Качество@, производство и распределение сверхчистой воды - Микроэлектроника и другие технические применения