EN 62047-12:2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.

Стандартный №

EN 62047-12:2011

Дата публикации

2011

Разместил

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Последняя версия

EN 62047-12:2011

EN 62047-12:2011 История

• 2011 EN 62047-12:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.