IEC 62047-12:2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.
- Стандартный №
- IEC 62047-12:2011
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-12:2011
- заменять
- IEC 47F/80/FDIS:2011
- сфера применения
- Эта часть IEC 62047 определяет метод испытаний на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации микромасштабных механических структур МЭМС (микроэлектромеханических систем) и микромашин. Настоящий стандарт распространяется на вибрирующие конструкции размером от 10 ?? до 1 000 ?? в направлении плоскости и от 1 ?? до 100 ?? толщиной@ и испытуемые материалы длиной менее 1 мм@, шириной менее 1 мм@ и между 0@1 ?? и 10 ?? по толщине. Основные конструкционные материалы для МЭМС@ микромашин@ и т.д. обладают особыми характеристиками@, такими как типичные размеры в несколько микрон@, изготовление материалов методом осаждения@ и изготовление испытательных образцов посредством немеханической обработки@, включая фотолитографию. МЭМС-структуры часто имеют более высокую основную резонансную частоту и более высокую прочность, чем макроструктуры. Для оценки и обеспечения срока службы МЭМС-структур необходимо разработать метод испытаний на усталость со сверхвысокоцикловыми (до 1012) нагрузками. Целью метода испытаний является оценка механически усталостных свойств микромасштабных материалов за короткое время путем приложения высокой нагрузки и изгибного напряжения с высокой циклической частотой с использованием резонансной вибрации.
IEC 62047-12:2011 История
- 2011 IEC 62047-12:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.
