BS EN 62047-10:2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Испытание микростолбов на сжатие материалов MEMS
- Стандартный №
- BS EN 62047-10:2011
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- состояние
- Последняя версия
- BS EN 62047-10:2011
- заменить на
- NF A89-568:2017
BS EN 62047-10:2011 История
- 2011 BS EN 62047-10:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Испытание микростолбов на сжатие материалов MEMS
