BS ISO 27911:2011 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка латерального разрешения оптического микроскопа ближнего поля
2011BS ISO 27911:2011 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка латерального разрешения оптического микроскопа ближнего поля