ASTM E1603/E1603M-11 Стандартная практика измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки
Метод испытаний A8212; Этот метод испытаний наиболее часто используется при проверке компонентов на герметичность. Тестирование компонентов соотносится со стандартной утечкой, и измеряется фактическая скорость утечки. Приемка основана на максимально допустимой утечке в системе. Для большинства производственных нужд приемка основана на приемке деталей, утечка которых меньше установленной, что обеспечит безопасную работу в течение прогнозируемого срока службы компонента. Необходимо проявлять осторожность, чтобы гарантировать, что большие системы откалиброваны с использованием стандартной утечки, расположенной в репрезентативном месте испытательного объема. Поскольку объем имеет тенденцию быть большим (>1 м3) и часто используются пути с низкой проводимостью, необходимо проверить время отклика, а также чувствительность системы. Метод испытаний B8212; Этот метод испытаний используется для испытаний вакуумных систем либо в качестве этапа окончательного испытания новой системы, либо в качестве практики технического обслуживания оборудования, используемого для производства, испытаний на воздействие окружающей среды или кондиционирования деталей. Как и в случае с методом тестирования А, для больших объемов может потребоваться проверка времени отклика и чувствительности системы. Метод испытаний C8212; Этот метод испытаний следует использовать только в том случае, если нет удобного способа подключения LD к выходному отверстию высоковакуумного насоса. Если используется гелиевый LD, а высоковакуумный насос — ионный или крионасос, проверку герметичности лучше всего проводить во время чернового цикла, поскольку эти насосы оставляют относительно высокий процент гелия в камере высокого вакуума. Это ограничит максимальную чувствительность, которую можно получить. 1.1 Данная практика охватывает процедуры тестирования источников утечки газа со скоростью 1 &#× 10°8 Па м3/с (1°10°9 стандарт-см3/с при 0°C) или выше. Эти методы испытаний могут проводиться на любом объекте, который можно эвакуировать и на другую сторону которого можно нанести гелий или другой индикаторный газ. Конструктивно объект должен быть способен выдерживать давление до 0,1 Па (приблизительно 10–3 Торр). 1.2 Описаны три метода испытаний; 1.2.1 Метод испытаний А8212; Для испытуемого объекта, который может быть откачан, но не имеет собственной насосной способности. 1.2.2 Метод испытаний B8212; Для испытуемого объекта со встроенной насосной способностью. 1.2.3 Метод испытаний C8212; Для испытуемого объекта такой же, как в методе испытаний B, в котором вакуумные насосы испытуемого объекта заменяют те, которые обычно используются в течеискателе (LD). 1.3 Единицы8212;Значения, указанные в единицах СИ или стандартно-см3/сек, следует рассматривать отдельно как стандартные. Значения, указанные в каждой системе, не могут быть точными эквивалентами: поэтому каждая система должна использоваться независимо от другой. Объединение значений из двух систем может привести к несоответствию стандарту. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1603/E1603M-11 История
2022ASTM E1603/E1603M-11(2022) Стандартная практика измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки
2017ASTM E1603/E1603M-11(2017) Стандартная практика измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки
2011ASTM E1603/E1603M-11 Стандартная практика измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки
1999ASTM E1603-99(2006) Стандартные методы испытаний для измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки
1999ASTM E1603-99 Стандартные методы испытаний для измерения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме вытяжки