ASTM F2405-04(2011)
Стандартный метод определения следов металлических примесей в меди высокой чистоты с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения

Стандартный №

ASTM F2405-04(2011)

Дата публикации

2004

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F2405-04(2011)

сфера применения

Этот метод испытаний предназначен для применения в полупроводниковой промышленности для оценки чистоты материалов (например, мишеней распыления, источников испарения), используемых в процессах металлизации тонких пленок. Этот метод испытаний может быть полезен в дополнительных приложениях, не предусмотренных ответственным техническим комитетом, по согласованию между заинтересованными сторонами. Данный метод испытаний предназначен для использования аналитиками GDMS в различных лабораториях для унификации протокола и параметров определения микропримесей в меди. Целью является улучшение согласованности данных анализа между лабораториями. Этот метод испытаний также предназначен для пользователей анализов GDMS в качестве помощи в понимании метода определения, а также значимости и надежности сообщаемых данных GDMS. Для большинства металлических частиц предел обнаружения рутинного анализа составляет порядка 0,01 мас. промилле. При соблюдении особых мер предосторожности возможны пределы обнаружения до уровня ниже миллиарда. Этот метод испытаний может использоваться в качестве эталонного метода для производителей и пользователей медных материалов электронного назначения. 1.1 Этот метод испытаний охватывает концентрации следовых металлических примесей высокой чистоты (99,95 мас. % или более чистых по отношению к следам металлов). примеси) медь электронного качества. 1.2 Настоящий метод испытаний относится к анализу с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с магнитным сектором (GDMS). 1.3 Этот метод испытаний не включает всю информацию, необходимую для выполнения анализа GDMS. Для достижения необходимой чувствительности требуется сложное лабораторное оборудование с компьютерным управлением, умело используемое опытным оператором. Этот метод испытаний не охватывает конкретные факторы (например, подготовку образцов, установку коэффициентов относительной чувствительности, определение пределов обнаружения и т.п.), известные ответственному техническому комитету и влияющие на надежность анализа меди высокой чистоты. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F2405-04(2011) Ссылочный документ

• ASTM E135  Стандартная терминология, относящаяся к аналитической химии металлов, руд и родственных материалов
• ASTM E173 
• ASTM E180  Стандартная практика определения точности методов ASTM для анализа и испытаний промышленных и специальных химикатов
• ASTM E691 Стандартная практика проведения межлабораторного исследования для определения точности метода испытаний
• ASTM E876 Стандартная практика использования статистики при оценке спектрометрических данных (отозвана в 2003 г.)
• ASTM F1593 Стандартный метод определения следов металлических примесей в алюминии электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения

ASTM F2405-04(2011) История

• 2004 ASTM F2405-04(2011) Стандартный метод определения следов металлических примесей в меди высокой чистоты с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения
• 2004 ASTM F2405-04 Стандартный метод определения следов металлических примесей в меди высокой чистоты с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения