ASTM F1894-98(2011)
Метод испытаний для количественного определения состава и толщины пленок силицида вольфрама и полупроводников

Стандартный №

ASTM F1894-98(2011)

Дата публикации

1998

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1894-98(2011)

заменить на

ANSI/UL 746B-2013

сфера применения

Этот метод испытаний можно использовать для обеспечения абсолютной воспроизводимости систем нанесения пленки WSix в течение многих месяцев. Временной интервал измерений по сути определяет срок службы многих систем осаждения. Этот метод испытаний можно использовать для квалификации новых систем нанесения покрытий WSix, чтобы гарантировать дублируемость существующих систем. Этот метод испытаний необходим для координации глобальных операций по производству полупроводников с использованием различных аналитических служб. Этот метод испытаний позволяет анализировать образцы из различных систем осаждения в разных местах и в разное время. Этот метод испытаний является выбранным методом калибровки для различных аналитических методов, включая, помимо прочего: электронную спектроскопию для химического анализа (ESCA или XPS), электронную Оже-спектроскопию (AES), инфракрасную красную спектроскопию с преобразованием Фурье (FTIR), вторичную спектроскопию. ионная масс-спектрометрия (SIMS), электронно-дисперсионная спектрометрия (EDS) и рентгеновская эмиссия, индуцированная частицами (PIXE). 1.1 Этот метод испытаний охватывает количественное определение концентраций вольфрама и кремния в полупроводниковых пленках вольфрам/кремний (WSix) с использованием Резерфорда. Спектрометрия обратного рассеяния (RBS). (1) Этот метод испытаний также охватывает обнаружение и количественное определение примесей в диапазоне масс от фосфора ?/диапазон > (31 атомная единица массы (а.е.м.) до сурьмы (122 а.е.м.). 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для пленок силицида вольфрама. подготовленный с помощью любого процесса осаждения или отжига, или того и другого.Пленка должна представлять собой однородную пленку с площадью покрытия, превышающей площадь падающего ионного луча (8764;2,5 мм).1.3 Этот метод испытаний точно измеряет следующие свойства пленки: соотношение кремний/вольфрам и изменения в зависимости от глубины, профиля глубины вольфрама по всей пленке, толщины пленки WSix, концентрации аргона (если он присутствует), присутствия оксида на поверхности пленок WSix и примесей переходных металлов до пределов обнаружения 1&#×1014 атомов/см2. 1.4 Этот метод испытаний позволяет обнаружить абсолютные различия в концентрациях кремния и вольфрама, составляющие &#± и ±;1 атомный процент, соответственно, измеренные в разных образцах в отдельных анализах.Относительные изменения концентрации вольфрама по глубине может быть обнаружен до &#±0,2 атомного процента с разрешением по глубине &#±70?/span>. 1.5 Этот метод испытаний поддерживает и помогает при квалификации пленок WSix методами электрического сопротивления. 1.6 Этот метод испытаний можно применять для пленок WSix, нанесенных на проводящие или изолирующие подложки. 1.7 Этот метод испытаний полезен для пленок WSix размером от 20 до 400 нм с площадью покрытия более 1 на 1 мм2. 1.8 Данный метод испытаний не разрушает пленку вплоть до ее распыления. 1.9 Статистический контроль процесса (SPC) пленок WSix ведется с 1993 года с воспроизводимостью до &#±4 %. 1.10 Этот метод испытаний обеспечивает точную толщину пленки путем моделирования плотности пленки WSix как WSi2 (шестиугольной) плюс избыточный элементный Si2. Измеренная толщина пленки представляет собой нижний предел фактической толщины пленки с точностью менее 10 % по сравнению с измерениями поперечного сечения СЭМ (см. 13.4). 1.11 Этот метод испытаний можно использовать для анализа пленок на целых пластинах длиной до 300 мм без разрушения пластин. Сайты, которые могут быть ......

ASTM F1894-98(2011) Ссылочный документ

• ASTM E1241 Стандартное руководство по проведению тестов на токсичность на ранних стадиях жизни рыб*， 2004-04-01 Обновление
• ASTM E673  Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности

ASTM F1894-98(2011) История

• 1998 ASTM F1894-98(2011) Метод испытаний для количественного определения состава и толщины пленок силицида вольфрама и полупроводников
• 1998 ASTM F1894-98(2003) Метод испытаний для количественного определения состава и толщины пленок силицида вольфрама и полупроводников
• 1998 ASTM F1894-98 Метод испытаний для количественного определения состава и толщины пленок силицида вольфрама и полупроводников