BS EN 62047-4:2010
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Общая спецификация для MEMS

Стандартный №

BS EN 62047-4:2010

Дата публикации

2010

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 62047-4:2010

сфера применения

В этой части IEC 62047 описаны общие спецификации для микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленных из полупроводников, которые являются основой для спецификаций, приведенных в других частях этой серии для различных типов приложений МЭМС, таких как датчики, радиочастотные МЭМС, за исключением оптических МЭМС, био-МЭМС, микро-ТАС и энергетические МЭМС. Этот стандарт определяет общие процедуры оценки качества, которые будут использоваться в системах IECQ-CECC, и устанавливает общие принципы описания и тестирования электрических, оптических, механических и экологических характеристик. Эта часть IEC 62047 помогает в подготовке стандартов, определяющих устройства и системы, изготовленные с использованием технологии микрообработки, включая, помимо прочего, определение характеристик материалов и обращение с ними, сборку и испытания, методы управления процессом и измерения. МЭМС, описанные в этом стандарте, в основном изготовлены из полупроводникового материала. Однако положения настоящего стандарта также применимы к МЭМС, в которых используются материалы, отличные от полупроводников, например, полимеры, стекло, металлы и керамические материалы.

BS EN 62047-4:2010 История

• 2010 BS EN 62047-4:2010 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Общая спецификация для MEMS