GB/T 26070-2010
Характеристика подповерхностных повреждений в полированных составных полупроводниковых пластинах методом разностной спектроскопии отражения (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 26070-2010
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 26070-2010
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод испытаний на подповерхностные повреждения монокристаллических полированных пластин полупроводниковых соединений III-V. Этот стандарт применим для измерения подповерхностных повреждений GaAs, InP (может относиться к GaP, GaSb) и других полупроводниковых монокристаллических полированных пластин.
GB/T 26070-2010 История
- 2011 GB/T 26070-2010 Характеристика подповерхностных повреждений в полированных составных полупроводниковых пластинах методом разностной спектроскопии отражения
