GB/T 26066-2010
Практика обнаружения неглубоких ямок травления на кремнии (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 26066-2010

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2011

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 26066-2010

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод контроля неглубоких ямок коррозии, вызванных загрязнением полированных пластин или эпитаксиальных поверхностей методами термического окисления и химического предпочтительного травления. Этот стандарт подходит для тестирования полированных пластин p- или n-типа или эпитаксиальных пластин с ориентацией кристаллов или с удельным сопротивлением более 0,001 Ом·см.

GB/T 26066-2010 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения

GB/T 26066-2010 История

• 2011 GB/T 26066-2010 Практика обнаружения неглубоких ямок травления на кремнии