ASTM F996-11 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик

Стандартный №: ASTM F996-11
Дата публикации: 2011
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM F996-11(2018)
Последняя версия: ASTM F996-11(2018)

сфера применения: Электрические свойства затворных и полевых оксидов изменяются под действием ионизирующего излучения. Метод определения дозы, полученной от источника облучения, обсуждается в Методических указаниях E666, E668, E1249 и Руководстве E1894. Эффекты ионизирующего излучения, зависящие от времени и мощности дозы, могут быть определены путем сравнения сдвигов напряжения до и после облучения, &#ΔVot и &#ΔVit. Этот метод испытаний позволяет оценить реакцию МОП-транзисторов на ионизирующее излучение и изолирующие паразитные МОП-транзисторы. Измеренные сдвиги напряжения, Vot и Vit, могут служить мерой эффективности обработки изменений реакции на ионизирующее излучение. Этот метод можно использовать для мониторинга реакции общей дозы технологического процесса. 1.1 Этот метод испытаний охватывает использование метода подпорогового разделения зарядов для анализа деградации диэлектрика затвора под ионизирующим излучением в поле металл-оксид-полупроводник. эффектный транзистор (MOSFET) и изолирующий диэлектрик в паразитном MOSFET. , , Подпороговый метод используется для разделения инверсионного сдвига напряжения, вызванного ионизирующим излучением, &#ΔVINV, на сдвиги напряжения из-за захваченного заряда оксида, &#ΔVot и интерфейсных ловушек, &#Δ ;Вит. Этот метод использует сток до и после облучения для получения характеристик тока источника в зависимости от напряжения затвора в подпороговой области МОП-транзистора. 1.2 Приведены методики измерения подпороговых вольт-амперных характеристик МОП-транзистора и расчета результатов. 1.3 Применение этого метода испытаний требует, чтобы МОП-транзистор имел контакт с подложкой (корпусом). 1.4 Подпороговые кривые истока или стока МОП-транзистора до и после облучения должны следовать экспоненциальной зависимости от напряжения на затворе в течение как минимум двух декад тока. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F996-11 Ссылочный документ

ASTM E1249 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60
ASTM E1894 Стандартное руководство по выбору дозиметрических систем для применения в импульсных источниках рентгеновского излучения
ASTM E666 Стандартная практика расчета поглощенной дозы гамма- или рентгеновского излучения
ASTM E668 Стандартная практика применения систем термолюминесцентно-дозиметрии (ТЛД) для определения поглощенной дозы при испытаниях электронных устройств на радиационную стойкость

ASTM F996-11 История

2018 ASTM F996-11(2018) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпорогового тока –V
2011 ASTM F996-11 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
2010 ASTM F996-10 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
1998 ASTM F996-98(2003) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
1998 ASTM F996-98 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик