Когда в АЭС используется возбуждение электронным лучом, падающий электронный луч может взаимодействовать с материалом образца, вызывая физические и химические изменения. В общем, эти эффекты являются помехой для анализа AES, поскольку они вызывают локальную модификацию образца (1-4). В случае образцов с плохой электропроводностью электронный луч может стимулировать развитие локализованного заряда на поверхности образца. Этот эффект является препятствием для анализа AES, поскольку потенциалы, связанные с зарядом, могут либо отрицательно повлиять на целостность данных Оже, либо затруднить сбор данных Оже (5, 6).1.1 В этом руководстве описываются причины и проявления нежелательных эффектов электронного пучка в Электронная оже-спектроскопия (ОЭС). 1.2 Приводятся некоторые общие рекомендации относительно параметров электронного пучка, которые с наибольшей вероятностью могут вызвать подобные эффекты, а также предложения о том, как их минимизировать. 1.3 Определены общие классы материалов, которые с наибольшей вероятностью будут проявлять нежелательные эффекты электронного луча. Кроме того, представлена таблица некоторых конкретных материалов, которые, как наблюдалось, подвергались воздействию электронного повреждения. 1.4 Описан простой метод установления существования и степени этих эффектов во время обычного анализа AES. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E983-10 Ссылочный документ
ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM E996 Стандартная практика представления данных в электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
ASTM E983-10 История
2019ASTM E983-19 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2018ASTM E983-10(2018) Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2010ASTM E983-10 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2005ASTM E983-05 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
1994ASTM E983-94(1999) Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии