Настоящий международный стандарт описывает метод испытания на пустотность при напряжении металлизации и связанные с ним критерии. Он применим для металлизации алюминия (Al) или меди (Cu). Этот стандарт применим для исследования надежности и квалификации полупроводниковых процессов.
IEC 62418:2010 История
2010IEC 62418:2010 Полупроводниковые приборы. Испытание на пустоту при металлизации