GB/T 25188-2010 (Англоязычная версия) Измерение толщины сверхтонких слоев оксида кремния на кремниевых пластинах. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.

Стандартный №: GB/T 25188-2010
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2010
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 25188-2010

сфера применения: Этот стандарт определяет метод точного измерения толщины ультратонкого слоя оксида кремния на поверхности кремниевой пластины, то есть рентгеновскую фотоэлектронную спектроскопию (XPS). Этот стандарт применим для точного измерения толщины ультратонкого слоя оксида кремния, полученного на поверхности кремниевой пластины путем термического окисления; обычно толщина слоя оксида кремния, к которому применяется настоящий стандарт, не превышает 6 нм.

GB/T 25188-2010 Ссылочный документ

GB/T 19500 Общие правила метода рентгенофотоэлектронно-спектроскопического анализа
GB/T 21006 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные и электронные оже-спектрометры. Линейность шкалы интенсивности.
GB/T 22461 Химический анализ поверхности. Словарь.
GB/T 22571 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических шкал.*， 2017-09-07 Обновление

2010 GB/T 25188-2010 Измерение толщины сверхтонких слоев оксида кремния на кремниевых пластинах. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.