1.1 Настоящий стандарт определяет размеры фланцев с заостренной кромкой и связанных с ними прокладок, используемых в вакуумных системах для давлений в диапазоне от 105 Па до 10-11 Па. Такие фланцы широко используются в вакуумных технологиях в инструментах обработки полупроводников, системах анализа поверхности, системы космического моделирования и общие исследования, требующие вакуума. 1.2 Значения, указанные в единицах СИ или дюймах-фунтах, следует рассматривать отдельно как стандартные. Значения, указанные в каждой системе, не могут быть точными эквивалентами; поэтому каждая система должна использоваться независимо от другой. Объединение значений из двух систем может привести к несоответствию стандарту. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E2734/E2734M-10 Ссылочный документ
ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности