Этот стандарт определяет тип и основные параметры, технические требования, проверку оборудования и оценку качества, обязательства по качеству и маркировку, упаковку, транспортировку и хранение оборудования для вакуумного ионного покрытия. Настоящий стандарт распространяется на: оборудование для нанесения ионного покрытия с помощью дугового испарения; оборудование для нанесения ионного покрытия с электронно-лучевым испарением; оборудование для нанесения ионного покрытия с помощью магнетронного распыления; комбинацию трех вышеуказанных типов оборудования для ионного покрытия. Другие типы оборудования с характеристиками ионного покрытия могут соответствовать этому стандарту.
JB/T 8946-2010 Ссылочный документ
GB/T 11164-1999 Общая спецификация установки вакуумного нанесения покрытия