GB/T 24579-2009 (Англоязычная версия) Методы определения поверхностной металлической загрязненности поликристаллического кремния методом кислотно-экстракционно-атомно-абсорбционной спектроскопии

Стандартный №: GB/T 24579-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 24579-2009

сфера применения: 1.1 Настоящий стандарт определяет метод анализа выщелачивания металлических примесей с поверхности блока поликристаллического кремния кислотой и количественного обнаружения следов металлов на поверхности блока поликристаллического кремния методом атомной абсорбции в графитовой печи. 1.2 Настоящий стандарт распространяется на обнаружение щелочных металлов, щелочноземельных металлов и переходных элементов первого ряда, таких как натрий, алюминий, железо, хром, никель и цинк. 1.3 Настоящий стандарт распространяется на обнаружение металлических загрязнений на поверхности различных стержней, блоков, зерен, а также листового поликристаллического или монокристаллического кремния. Из-за неправильной формы блоков, хлопьев или гранул сложно точно измерить площадь, и результат рассчитывается по весу образца. Масса используемого образца составляла от 50 г до 300 г, предел обнаружения составлял 0,01 нг/г. 1.4 Сила, состав, температура и время выщелачивания кислоты определяют глубину поверхностной коррозии и эффективность выщелачивания поверхностных загрязнителей. При этом методе испытаний вытравливается менее 1% массы образца. 1.5 Этот метод испытаний предполагает определенный размер образца, кислотный состав, цикл коррозии, испытательную среду и схему приборов. Эти параметры можно регулировать, но они могут повлиять на эффективность восстановления и удержания металлов. Этот метод подходит для определения проб массой от 25 г до 5000 г. Для целей арбитража данный метод испытаний предусматривает, что масса образца составляет 300 г. Метод испытания определяется с точки зрения помех и систематической ошибки результатов. 1.6 Настоящий метод испытаний предусматривает использование атомно-абсорбционной спектрометрии в графитовой печи для анализа содержания следов металлов, экстрагированных кислотой. Могут также использоваться другие инструменты сопоставимой чувствительности, такие как масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой. 1.7 Предел обнаружения и погрешность метода зависят от эффективности процесса кислотной экстракции, размера пробы, помех метода, спектров поглощения каждого элемента и чувствительности прибора, фоновых и холостых значений. 1.8 Этот метод заключается в использовании горячей кислоты для травления поверхности кремния, травитель вреден, операцию необходимо проводить в вытяжном шкафу, и весь процесс должен быть очень осторожным. Растворы плавиковой кислоты очень опасны, и их не следует использовать лицам, не знакомым с особыми мерами предосторожности.

GB/T 24579-2009 Ссылочный документ

GB/T 11446.1-1997 Вода электронного качества
ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*， 2015-12-01 Обновление

GB/T 24579-2009 История

2009 GB/T 24579-2009 Методы определения поверхностной металлической загрязненности поликристаллического кремния методом кислотно-экстракционно-атомно-абсорбционной спектроскопии