GB/T 24577-2009
Методы анализа органических загрязнений на поверхности кремниевой воды методом термодесорбционной газовой хроматографии (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 24577-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 24577-2009

сфера применения

1.1 Настоящий стандарт определяет качественные и количественные методы определения органических загрязнителей на поверхности кремниевых пластин с использованием ГХ-МС или фосфорселективных детекторов или того и другого. 1.2 Настоящий стандарт описывает термодесорбционный газовый хроматограф (ТД-ГХ) и соответствующие процедуры подготовки и анализа проб. 1.3 Диапазон предела обнаружения настоящего стандарта зависит от обнаруживаемого органического соединения, например, диапазон обнаружения углеводородов (C~C) составляет 10 г/см~10 г/см. 1.4 Настоящий стандарт распространяется на полированные кремниевые пластины и кремниевые пластины с оксидными слоями. 1.5 В настоящем стандарте рассматриваются два метода. Метод А подходит для нарезанных кремниевых пластин, а метод Б — для неповрежденных кремниевых пластин. Различия между этими двумя методами подробно описаны в разделе 7.

GB/T 24577-2009 Ссылочный документ

• ASTM D6196 Стандартная практика выбора сорбентов и процедуры отбора проб насосом/термодесорбционного анализа летучих органических соединений в воздухе

GB/T 24577-2009 История

• 2009 GB/T 24577-2009 Методы анализа органических загрязнений на поверхности кремниевой воды методом термодесорбционной газовой хроматографии