AS ISO 14606:2006 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
Принимает ISO 14606:2000, чтобы дать рекомендации по оптимизации параметров профиля глубины распыления с использованием соответствующих однослойных и многослойных эталонных материалов для достижения оптимального разрешения по глубине в зависимости от настроек прибора.
AS ISO 14606:2006 История
1970AS ISO 14606:2006 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.