AS ISO 14237:2006
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
- Стандартный №
- AS ISO 14237:2006
- Разместил
- Standard Association of Australia （SAA）
- Последняя версия
- AS ISO 14237:2006
- сфера применения
- Принимает ISO 14237:2000 для определения масс-спектрометрического метода вторичных ионов для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированных материалов, откалиброванных с помощью сертифицированного эталонного материала, имплантированного бором.
AS ISO 14237:2006 История
- 1970 AS ISO 14237:2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
