Анионы фторид, хлорид и сульфат были идентифицированы как важные факторы, способствующие коррозии котлов высокого давления, электрических турбин и связанных с ними теплообменников. Многие электроэнергетические компании пытаются снизить содержание этих загрязнений в питательной воде котлов до уровня менее 1 г/л. В процессе производства полупроводников эти ионы, среди прочих, были идентифицированы как причина низкого выхода продукта и, следовательно, должны контролироваться и контролироваться до уровней, аналогичных тем, которые требуются в электроэнергетике. Низкомолекулярные органические кислоты, такие как ацетат и формиат, были обнаружены во многих питательных водах и конденсатах парогенераторов. Считается, что они возникают в результате высокотемпературного разложения органических веществ, содержащихся в подпиточной воде котла. Считается, что эти органические кислоты способствуют коррозии, снижая pH котловой воды, и даже сами могут быть коррозионными. Такие низкомолекулярные органические вещества также могут быть получены при использовании ультрафиолетового света для производства свободной от бактерий воды для обработки полупроводников. Предполагается, что такие полярные органические загрязнители вызывают снижение выхода полупроводников. Фосфаты обычно добавляют в барабанные котлы в низких количествах мг/л для осаждения кальция и магния и тем самым предотвращения образования накипи. Ионная хроматография может использоваться для контроля концентрации таких химикатов в котловой воде, а также для обнаружения нежелательного переноса в пар.1.1 Эти методы испытаний охватывают определение следовых (μг/л) уровней фторид, ацетат, формиат, хлорид, фосфат и сульфат в воде высокой чистоты с использованием ионной хроматографии в сочетании с предварительным концентрированием пробы. Этим методом можно определить другие анионы, такие как бромид, нитрит, нитрат, сульфит и йодид. Однако, поскольку они редко присутствуют в значительных концентрациях в воде высокой чистоты, они не включены в этот метод испытаний. Представлены два метода тестирования, и области их применения, определенные совместным исследованием, следующие: Протестированный диапазон (добавлено μg/L) Предел обнаруженияA (один оператор) (μ г/л) Секции Метод испытания A: 7–15 Хлорид0–24 0,8 Фосфат0–39 B Сульфат0–55 1,8 Метод испытания B:16– 23 Фтор0–14 0,7