SJ 20984-2008
Общие спецификации оборудования для химического осаждения из паровой фазы (CVD) (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ 20984-2008

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2008

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ 20984-2008

сфера применения

В данной спецификации указаны требования, правила обеспечения качества и подготовка к поставке оборудования для химического осаждения из паровой фазы. Настоящая спецификация применима к оборудованию для химического осаждения из паровой фазы, используемому при разработке и производстве оптоэлектронных и микроэлектронных устройств в электронной промышленности.Подобное оборудование в других отраслях также может быть реализовано в качестве эталона.

SJ 20984-2008 Ссылочный документ

• GB 5226.1-2002 Безопасность машин. Электрооборудование машин. Часть 1. Общие требования.
• GB/T 13384-1992 Общие технические условия на упаковку механических и электротехнических изделий
• GB/T 17626.1-1998 Электромагнитная совместимость Методы испытаний и измерений Обзор испытаний на устойчивость
• GB/T 191  Упаковка.Изобразительная маркировка погрузочно-разгрузочных работ.
• GB/T 5080.7-1986 Испытание надежности оборудования. Планы испытаний на соответствие интенсивности отказов и среднего времени между отказами при условии постоянной интенсивности отказов.
• GB/T 6388 Знак отгрузки транспортной упаковки
• SJ 1276-1977 Технические требования к контролю качества металлических покрытий и химически обработанных слоев
• SJ/T 10674-1995 Общая спецификация для покрытия слоем
• SJ/T 37-1996 Методы моделирования и обозначения специального оборудования электронной промышленности.

SJ 20984-2008 История

• 2008 SJ 20984-2008 Общие спецификации оборудования для химического осаждения из паровой фазы (CVD)