GB/T 22572-2008
Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием многослойных эталонных материалов для вторичной ионной масс-спектрометрии в химии поверхности (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 22572-2008
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2008
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 22572-2008
- сфера применения
- Этот стандарт определяет шаги для оценки трех параметров разрешения по глубине: длины ведущего затухания, длины ведомого затухания и гауссовского уширения с использованием восьми слоев эталонного материала при профилировании глубины SIMS. Поскольку физико-химическое состояние поверхности образца нестабильно из-за воздействия первичных ионов, настоящий стандарт не распространяется на 8 слоев вблизи поверхности.
GB/T 22572-2008 История
- 2008 GB/T 22572-2008 Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием многослойных эталонных материалов для вторичной ионной масс-спектрометрии в химии поверхности
