Настоящий стандарт определяет метод калибровки шкал энергии связи рентгеновских электронных спектрометров с использованием немонохроматического рентгеновского излучения Al или Mg или монохроматического рентгеновского излучения Al для общих аналитических целей. Подходит только для инструментов с ионной пушкой для очистки напылением. Этот стандарт дополнительно определяет метод установления процедуры калибровки, проверки линейности шкалы энергий связи при определенном значении энергии в середине, взятия точки в каждой из областей высокой и низкой энергии связи для подтверждения неопределенности калибровки. масштаб и небольшой дрейф шкалы. Внесите поправки и укажите расширенную неопределенность калибровки шкалы энергий связи на уровне достоверности 95%. Эта неопределенность включает вклад явлений, наблюдаемых в межлабораторных исследованиях, но не покрывает все возможные недостатки. Настоящий стандарт не распространяется на приборы со следующими условиями: погрешность шкалы энергий связи существенно нелинейно изменяется с энергией, работает в режиме фиксированного коэффициента уменьшения и коэффициент уменьшения меньше 10, разрешающая способность спектрометра хуже, чем 1,5 эВ или требуемый предел допуска составляет ±0,03 эВ или меньше. Этот стандарт не предусматривает полномасштабную проверку калибровки, которая должна проверяться для каждой точки, которая может быть найдена на шкале энергии, и должна выполняться в соответствии с процедурами, рекомендованными изготовителем прибора.