ASTM F1845-08 Стандартный метод определения следов металлических примесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-медь-кремний и алюминий-медь-кремний электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения
Этот метод испытаний предназначен для применения в полупроводниковой промышленности для оценки чистоты материалов (например, мишеней распыления, источников испарения), используемых в процессах металлизации тонких пленок. Этот метод испытаний может быть полезен в дополнительных приложениях, не предусмотренных ответственным техническим комитетом, по согласованию между заинтересованными сторонами. Данный метод испытаний предназначен для использования аналитиками GDMS в различных лабораториях для унификации протокола и параметров определения микропримесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-кремний и алюминий-медь-кремний. Целью является улучшение согласованности данных анализа между лабораториями. Этот метод испытаний также предназначен для пользователей анализов GDMS в качестве помощи в понимании метода определения, а также значимости и надежности сообщаемых данных GDMS. Для большинства металлических частиц предел обнаружения рутинного анализа составляет порядка 0,01 мас. промилле. При соблюдении особых мер предосторожности возможны пределы обнаружения до уровня ниже миллиарда. Настоящий метод испытаний может использоваться в качестве эталонного метода для производителей и потребителей материалов электронного назначения из алюминия-меди, алюминия-кремния и алюминия-меди-кремния. 1.1. Этот метод испытаний определяет концентрации следовых металлических примесей высокой чистоты (99,99 мас. % чистых или более чистых по отношению к следам металлических примесей) сплавы алюминия с медью, алюминия с кремнием и алюминия с медью и кремнием со следующими основными компонентами сплава: алюминий более 95,0 % медь менее или равно 5,0 % кремния менее или равно 5,0 % 1.2 Этот метод испытаний относится к анализу с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с магнитным сектором (GDMS). 1.3 Этот метод испытаний не включает всю информацию, необходимую для выполнения анализа GDMS. Для достижения необходимой чувствительности требуется сложное лабораторное оборудование с компьютерным управлением, умело используемое опытным оператором. Этот метод испытаний не охватывает конкретные факторы (например, подготовку образцов, установку коэффициентов относительной чувствительности, определение пределов обнаружения и т. д.), которые, как известно ответственному техническому комитету, влияют на надежность анализа алюминия высокой чистоты. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1845-08 История
2008ASTM F1845-08(2016) Стандартный метод определения следов металлических примесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-медь-кремний и алюминий-медь-кремний электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения
2008ASTM F1845-08 Стандартный метод определения следов металлических примесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-медь-кремний и алюминий-медь-кремний электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого разрешения
1997ASTM F1845-97(2002) Стандартный метод определения следов металлических примесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-медь, алюминий-кремний и алюминий-медь-кремний электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с высоким уменьшением массы
1997ASTM F1845-97 Стандартный метод определения следов металлических примесей в сплавах алюминий-медь, алюминий-медь, алюминий-кремний и алюминий-медь-кремний электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с высоким уменьшением массы