GB/T 19444-2004
Характеристика кислородного осаждения кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 19444-2004
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2004
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 19444-2004
- сфера применения
- Этот стандарт определяет принцип метода, правила отбора проб, процедуры термообработки, процедуры испытаний, расчет данных и т. д. для тестирования характеристик осаждения кислорода кремниевых пластин путем измерения снижения содержания кислорода в зазоре между кремниевыми пластинами. Этот стандарт используется для качественного сравнения двух или более партий характеристик межузельного осаждения кислорода кремниевых пластин для интегральных схем.
GB/T 19444-2004 История
- 2004 GB/T 19444-2004 Характеристика кислородного осаждения кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода
