ASTM E498-95(2006) Стандартные методы проверки утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда
Метод испытаний А наиболее часто используется при тестировании на герметичность компонентов, которые конструктивно способны выдерживать вакуум до давления 0,1 Па (приблизительно 10°3 Торр). Испытание небольших компонентов может быть сопоставлено с калиброванными утечками, а фактическая скорость утечки может быть измерена или приемка может быть основана на максимально допустимой утечке. Для большинства производственных нужд приемка основана на приемке деталей, утечка которых меньше установленного стандарта, что обеспечит безопасную работу в течение прогнозируемого срока службы компонента. Необходимо проявлять осторожность, чтобы гарантировать, что большие системы откалиброваны с эталонной утечкой в репрезентативном месте испытательного объема. Интенсивность утечек определяется путем расчета чистой прибыли или потерь из-за утечки в испытуемой части, которая может привести к отказу в течение ожидаемого срока службы устройства. Метод испытаний B используется для испытаний вакуумных систем либо в качестве этапа окончательного испытания новой системы, либо в качестве практики технического обслуживания оборудования, используемого для производства, экологических испытаний или для подготовки деталей. Поскольку громкость имеет тенденцию быть большой, следует проверить время отклика, а также чувствительность системы. Объем системы в литрах, разделенный на скорость вакуумного насоса в л/с, даст время отклика, достигающее 63 % общего сигнала. Время реакции, превышающее несколько секунд, затрудняет обнаружение утечек. Метод испытаний C следует использовать только в том случае, если нет удобного способа подключения течеискателя к выходному отверстию высоковакуумного насоса. Если используется гелиевый течеискатель, а высоковакуумный насос представляет собой ионный насос или крионасос, проверку на утечку лучше всего проводить во время цикла черновой обработки, поскольку эти насосы оставляют относительно высокий процент гелия в камере высокого вакуума. Это скроет все утечки, кроме крупных, и следовые газы быстро насытят насосы.1.1 Данные методы испытаний охватывают процедуры тестирования и определения местонахождения источников утечки газа со скоростью 4,5 · 10 · 14 моль/с (1 109 станд. см 3 / с) или больше. Испытание может проводиться на любом испытываемом объекте, который можно откачать и на другую сторону которого можно подать гелий или другой индикаторный газ. 1.2 Описаны три метода испытаний: 1.2.1 Метод испытания А – для испытуемого объекта способный к вакуумированию, но не имеющий собственной перекачивающей способности. 1.2.2 Метод испытаний B — для испытуемого объекта с встроенной перекачивающей способностью. 1.2.3 Метод испытаний C — Для испытуемого объекта, как в методе испытаний B, в котором вакуумные насосы испытуемого объекта заменяют те, которые обычно используются в течеискателе. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретную информацию об опасности можно найти в .
ASTM E498-95(2006) История
2022ASTM E498/E498M-11(2022) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда
2017ASTM E498/E498M-11(2017) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда
2011ASTM E498/E498M-11 Стандартная практика обнаружения утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда
1995ASTM E498-95(2006) Стандартные методы проверки утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда
1995ASTM E498-95(2000) Стандартные методы проверки утечек с использованием детектора утечек масс-спектрометра или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда