ASTM F2358-04
Стандартное руководство по измерению характеристик сапфировых подложек
- Стандартный №
- ASTM F2358-04
- Дата публикации
- 2004
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2011-07
- Последняя версия
- ASTM F2358-04
- сфера применения
- Измерения, описанные в этом руководстве, могут существенно повлиять на работу сапфировой подложки. Подложки с чрезмерными погрешностями формы в свободном состоянии могут стать причиной ошибок обработки на производстве. Сдержанное состояние подложки призвано как можно точнее имитировать форму, которую подложка примет при одном из предполагаемых применений. Во время обработки одну поверхность подложки иногда принудительно удерживают в плоском состоянии с помощью вакуума или приклеивания к плоской поверхности. Измерения в зажатом состоянии предназначены для моделирования формы передней поверхности подложки, когда задняя поверхность привязана к базовой плоскости. Форма в зажатом состоянии может оказывать прямое влияние на характеристики используемой подложки. Пользователь должен определить, являются ли неограниченные или ограниченные измерения наиболее подходящими для применения, и соответствующим образом указать соответствующие параметры. Знание этих характеристик может помочь производителю и потребителю определить, удовлетворяют ли размерные характеристики образца-подложки заданным геометрическим требованиям. Эта направляющая подходит для сапфировых подложек в нарезанном, притертом, полированном или другом состоянии. Технические характеристики носителя см. в документе SEMI M3. До тех пор, пока не будут получены результаты плановой межлабораторной оценки настоящего руководства, использование настоящего руководства для коммерческих операций не рекомендуется, если только стороны испытания не установят степень корреляции, которую можно получить. 1.1 Настоящее руководство охватывает неразрушающую процедуру определения в виде чистых, сухих сапфировых подложек. 1.2 Данное руководство применимо к подложкам диаметром 25 мм и более и минимальной толщиной 100 956 мкм. Это руководство не зависит от качества поверхности. 1.3 Измерения, описанные в этом руководстве, могут быть применены ко всей поверхности подложки или к более мелким локализованным областям. 1.4 На значение измерений, описанных в этом руководстве, будет влиять количество исключение краев (то есть область по периметру детали, которая игнорируется). Исключаемое количество должно быть согласовано производителем и потребителем с использованием настоящего стандарта. 1.5. Этот стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих правил техники безопасности и гигиены труда и определение применимости нормативных требований перед использованием.
ASTM F2358-04 История
- 2004 ASTM F2358-04 Стандартное руководство по измерению характеристик сапфировых подложек
