1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуру испытания компонентов на наличие кислорода в газораспределительных системах сверхвысокой чистоты при температуре окружающей среды. Кроме того, этот метод испытаний позволяет проводить испытания компонента при повышенных температурах окружающей среды, достигающих 70–176°C. 1.2 Этот метод испытаний применяется к линейным компонентам, содержащим материалы электронного класса, например те, которые используются в полупроводниковых газораспределительных системах. 1.3 Ограничения: 1.3.1 Этот метод испытаний ограничен чувствительностью существующих приборов, а также временем срабатывания приборов. Этот метод испытаний не предназначен для использования для испытываемых компонентов, номинальный внешний диаметр которых превышает 12,7 мм (1/2 дюйма). Этот метод испытаний можно применять к более крупным компонентам; однако заявленная объемная скорость потока может не обеспечить адекватного перемешивания для получения репрезентативной пробы. Более высокие скорости потока могут улучшить перемешивание, но привести к чрезмерному разбавлению пробы. 1.3.2 Данный метод испытаний написан с учетом предположения, что оператор понимает использование оборудования на уровне, эквивалентном шестимесячному опыту. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Единицы измерения дюйм-фунт, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 6.
ASTM F1396-93(1999) История
2020ASTM F1396-93(2020) Стандартный метод испытаний для определения содержания кислорода в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1396-93(2012) Стандартный метод испытаний для определения содержания кислорода в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1396-93(2005) Стандартный метод испытаний для определения содержания кислорода в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1396-93(1999) Стандартный метод испытаний для определения содержания кислорода в компонентах газораспределительной системы