ASTM F1212-89(2002)
Стандартный метод испытаний термостабильности пластин арсенида галлия
- Стандартный №
- ASTM F1212-89(2002)
- Дата публикации
- 1989
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2008-07
- Последняя версия
- ASTM F1212-89(2002)
- сфера применения
- 1.1 Этот разрушающий метод испытаний определяет, останется ли данный образец полуизолирующего арсенида галлия (GaAs) полуизолирующим после воздействия высоких температур, обычно необходимых для активации имплантированных слоев. 1.2 В основе лежит предположение, что другие пластины GaAs, история производства которых была такой же, как и пластина, из которой был взят тестовый образец, будут реагировать на высокие температуры аналогичным образом. 1.3 Особое внимание в этом методе испытаний уделяется простоте и безопасности оборудования, а также обеспечению независимости измерений от используемого оборудования. 1.4. Этот метод испытаний непосредственно применим к образцам GaAs без колпачков и неимплантированных. Однако пользователи этого метода тестирования могут распространить его на образцы с колпачком или имплантированные, или на оба, и в этом случае рекомендуется провести контролируемое испытание образцов с колпачком по сравнению с образцами без колпачка или имплантированных и неимплантированных образцов. 1.5 Этот метод испытаний обнаруживает примеси «из объема» (то есть изнутри пластины GaAs), которые, вероятно, будут влиять на электрическое поведение устройств, сформированных на поверхности пластины. Этот метод испытаний нечувствителен к поверхностным и технологическим примесям, за исключением помех (см. «Помехи»). 1,6
ASTM F1212-89(2002) Ссылочный документ
- ASTM F76 Стандартные методы измерения удельного сопротивления, коэффициента Холла и определения холловской подвижности в монокристаллических полупроводниках
ASTM F1212-89(2002) История
- 1989 ASTM F1212-89(2002) Стандартный метод испытаний термостабильности пластин арсенида галлия
- 1989 ASTM F1212-89(1996)e1 Стандартный метод испытаний термостабильности пластин арсенида галлия
