1.1 Данная спецификация охватывает мишени для распыления, изготовленные из силицидов металлов (силицид молибдена, силицид тантала, силицид титана и силицид вольфрама). Эти мишени называются тугоплавкими силицидными мишенями и предназначены для использования в микроэлектронике. 1.2 Значения, указанные в единицах СИ, считаются стандартными.
ASTM F1238-95(1999) История
1995ASTM F1238-95(2011) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике
1995ASTM F1238-95(2003) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике
1995ASTM F1238-95(1999) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике