Оже-анализ используется для определения элементного состава первых нескольких атомных слоев поверхности образца, обычно толщиной от 0,5 до 2,0 нм. В сочетании с ионным распылением инертного газа он используется для определения профиля глубины распыления до глубины нескольких микрометров. Образец обычно представляет собой твердый проводник, полупроводник или изолятор. Для изоляторов могут потребоваться средства контроля накопления заряда на поверхности (см. Руководство Е 1523). Типичные применения включают анализ тонких пленок или отдельных слоев на металлических или сплавных подложках. Топография образца может варьироваться от гладкого полированного образца до шероховатой поверхности излома. Оже-анализ образцов с летучими соединениями, которые испаряются в условиях сверхвысокого вакуума камеры Оже, и веществ, чувствительных к повреждению электронами или рентгеновскими лучами, таких как органические соединения, может потребовать специальных методов, не описанных в настоящем документе. (См. Руководство E 983.) 1.1 В данной методике описываются необходимые шаги для идентификации элементов в заданном оже-спектре, полученном с использованием обычных электронных спектрометров. Рассматриваются спектры, отображаемые либо в виде распределения электронов по энергии (прямой спектр), либо в виде первой производной распределения электронов по энергии. 1.2 Эта практика применяется к оже-спектрам, генерируемым электронной или рентгеновской бомбардировкой поверхности образца, и может быть расширена до спектров, генерируемых другими методами, такими как ионная бомбардировка.1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E827-02 История
2008ASTM E827-08 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
2007ASTM E827-07 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
2002ASTM E827-02 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
1995ASTM E827-95 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии