ASTM F1527-00 Стандартное руководство по применению кремниевых стандартных эталонных материалов и эталонных пластин для калибровки и контроля приборов для измерения удельного сопротивления кремния
1.1 В этом руководстве рассматривается применение стандартных эталонных материалов (SRM) для измерений удельного сопротивления на кремниевых пластинах. В частности, в этом руководстве рассматривается использование этих SRM для подготовки эталонных пластин удельного сопротивления и обеспечения качества приборов, используемых для их подготовки. 1.2 Настоящее руководство не оценивалось на предмет применения к электронным материалам, кроме кремния. 1.3 В руководстве рассматривается выбор материалов для эталонных пластин удельного сопротивления, процедуры подготовки и калибровки эталонных пластин удельного сопротивления, а также использование эталонных пластин удельного сопротивления при аттестации, калибровке и контроле различных типов приборов для измерения удельного сопротивления. 1.4 В руководстве представлены критерии выбора приборов для определения удельного сопротивления кремниевых эталонных материалов удельного сопротивления, процедуры содержания таких приборов при статистическом контроле качества, а также требования к обучению операторов, занимающихся изготовлением и использованием эталонных пластин удельного сопротивления. 1.5 Включены приложения, которые охватывают (1) предлагаемые процедуры построения контрольных карт для организаций, которые еще не имеют таких процедур, и (2) ошибки в определении удельного сопротивления, которые возникают из-за неопределенностей в диаметре пластины, ее толщине и расстоянии между наконечниками датчиков. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
2000ASTM F1527-00 Стандартное руководство по применению кремниевых стандартных эталонных материалов и эталонных пластин для калибровки и контроля приборов для измерения удельного сопротивления кремния