ASTM F798-97 Стандартная практика определения скорости геттерирования, сорбционной емкости и газосодержания неиспаряющихся геттеров в области молекулярного потока
1.1 В данном методе описаны методы определения скорости геттерирования, сорбционной емкости и газосодержания неиспаряющихся геттеров в области молекулярного потока. 1.2 Также приведены процедуры активации геттеров и определения скорости выделения газа. 1.3 Различные описанные испытания носят в основном разрушительный характер. В целом тесты являются полуколичественными, но можно ожидать, что они дадут сравнительную информацию на основе одной лаборатории. Многолабораторная воспроизводимость может быть установлена только с помощью циклического тестирования. Единичная лабораторная точность составляет +15% по скорости геттерирования и сорбционной способности. Многолабораторная воспроизводимость оценивается в +50%. Измерения содержания газа могут иметь существенно большую погрешность из-за неопределенности температуры. 1.4 Могут возникнуть неблагоприятные взаимодействия геттер-устройство, такие как загрязнение и отравление. Подобные проблемы выходят за рамки данной практики. Пользователь и продавец должны установить критерии для контроля таких проблем, как химические реакции, свободные частицы, расположение геттера и т. д. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 4.
ASTM F798-97 История
1997ASTM F798-97(2002) Стандартная практика определения скорости геттерирования, сорбционной емкости и газосодержания неиспаряющихся геттеров в области молекулярного потока
1997ASTM F798-97 Стандартная практика определения скорости геттерирования, сорбционной емкости и газосодержания неиспаряющихся геттеров в области молекулярного потока