1.1 Настоящий метод испытаний охватывает измерение поверхностного сопротивления тонких металлических пленок с помощью коллинеарной четырехзондовой матрицы. Он предназначен для использования с прямоугольными металлическими пленками толщиной от 0,01 до 100 мкм, образованными осаждением материала или процессом утонения и поддерживаемыми изолирующей подложкой, в диапазоне сопротивления листа от 10 до 10 омега/мкм. [открытая коробка] (см. 3.1.3). 1.2 Этот метод испытаний пригоден для целей референтных измерений, а также для рутинных приемочных измерений. 1.3 Значения, указанные в единицах Si, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F390-98(2003) История
2011ASTM F390-11 Стандартный метод испытаний листового сопротивления тонких металлических пленок с помощью коллинеарной четырехзондовой матрицы
1998ASTM F390-98(2003) Стандартный метод испытаний листового сопротивления тонких металлических пленок с помощью коллинеарной четырехзондовой матрицы
1998ASTM F390-98 Стандартный метод испытаний листового сопротивления тонких металлических пленок с помощью коллинеарной четырехзондовой матрицы