ASTM F358-83(2002)
Стандартный метод определения длины волны пиковой фотолюминесценции и соответствующего состава пластин арсенида фосфида галлия
- Стандартный №
- ASTM F358-83(2002)
- Дата публикации
- 1983
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2008-07
- Последняя версия
- ASTM F358-83(2002)
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает методы, используемые для определения длины волны пика фотолюминесценции и мольного процентного содержания фосфора в фосфиде арсенида галлия GaAs(1 x)Px. 1.2 Измерения фотолюминесценции показывают состав только в освещенной области и только в пределах очень небольшое расстояние от поверхности, расстояние, ограниченное проникновением излучения и длиной диффузии фотогенерированных носителей, в отличие от рентгеновских измерений, при которых отбирают гораздо более глубокий объем. 1.3 Этот метод испытаний ограничен подготовкой поверхности методика нанесения на эпитаксиальные слои полупроводника, выращенного в газофазном реакторе на плоской подложке. Он непосредственно применим к GaAs(1x)Px n-типа с длиной волны PL пика фотолюминесценции в диапазоне от 640 до 670 нм, что соответствует мольному проценту фосфора в диапазоне от 36 до 42 % (x = от 0,36 до 0,42). Калибровочные данные, предоставленные для определения x по ФЛ, применимы к материалам, легированным теллуром или селеном в концентрациях в диапазоне от 1016 до 1018 атомов/см3.1.4. Принцип этого метода испытаний имеет более широкое применение. Другие методы подготовки материала могут потребовать другой обработки поверхности. Распространение на другие легирующие примеси, диапазоны легирования или диапазоны состава требует дальнейшей работы, чтобы связать PL с содержанием фосфора, которое определяется рентгеновскими измерениями точных размеров элементарной ячейки, на которых основаны калибровочные данные. Крайне важно, чтобы калибровочные образцы имели однородный состав в отбираемом объеме. 1.5 Этот метод испытаний по существу является неразрушающим. Для измерения требуется легкое травление образца. Требуется удаление слоя материала толщиной примерно от 0,5 до 1,0 м. Такое травление не ухудшает качество образца, поскольку из него все еще можно изготовить устройства. 1.6 Этот метод испытаний применим для контроля процесса при подготовке материалов и для приемки материалов. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на рассмотрение всех вопросов безопасности. если таковые имеются, связанные с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 7.
ASTM F358-83(2002) Ссылочный документ
- ASTM D1125 Стандартные методы испытаний электропроводности и удельного сопротивления воды*， 1995-11-06 Обновление
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM*， 1990-11-06 Обновление
- ASTM E275 Стандартная практика описания и измерения характеристик спектрофотометров ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного диапазона*， 1993-11-06 Обновление
ASTM F358-83(2002) История
- 1983 ASTM F358-83(2002) Стандартный метод определения длины волны пиковой фотолюминесценции и соответствующего состава пластин арсенида фосфида галлия
- 1983 ASTM F358-83(1996)e1 Стандартный метод определения длины волны пиковой фотолюминесценции и соответствующего состава пластин арсенида фосфида галлия
